IPS探针台系统

4至8英寸的高性价比探针台(晶圆探针台),模块化结构设计,可无缝升级,未来的测试要求可在现有的设备升级满足。

探针台属于昂贵且耐用的科研设备。许多用户最初采购探针台时,仅考虑了现有的测试测量要求及相应的预算,因此最开始配置的探针台通常仅能满足某一测试目的。随着研究的深入,用户需要应对不同的测试时,却发现原来采购的探针台已无法应付现有的测试。

InitialPS(IPS)探针台从设计之初便考虑了客户的潜在需求。模块化的结构设计及独创的KitStart技术,让用户可在测试测量应用要求变化时,可进行无缝升级。用户仅需要从多种配置中进行简单选型即可升级,无须对探针台进行定制性的修改。便利的升级环境,也让用在开始时仅配置满足基础测试要求的探针台系统,节约设备预算。 

SimplePS探针台测量套装

SimplePS是专为较低预算而研发的高可靠性探针台系统。


预算及产品品质一直是困扰用户的两个难题。如今,SimplePS测量套装的出现,该问题将迎刃而解。该套装在考虑预算要求的同时,仍然为用户提供了高品质的产品配置:高稳定性、高可靠性的的SimplePS机台、DTP100定位器、S10系列探针夹具及其它相关的配件


利用KeyFactor完善的KitStart技术,SimplePS仍然为用户提供完整的测试测量解决方案。随着用户应用需求的变化,我们仍然能根据客户的测试应用对SimplePS作相应的产品升级。


全钢材料制作的底座,使SimplePS在较小尺寸外形下,仍然保持着优秀的稳定性。小体积,低预算的产品特点,用户可根据需求配置多套SimplePS探针台,满足实验和教学的多方面需求。

HAPS探针台系统

8至12英寸的精密型测试测量探针台。


为了在先进的半导体测试测量中获得可靠的测试结果,其中的关键之一便是探针台本身拥有超高的机械精度和稳性性。HPAS便是为了满足用户对于精准和可靠性和超高要求研发的探针台系统。


HAPS底座由一块表面平整精度小于5微米的花岗岩平台构成。该设计不但为探针台提供了超高的稳定性,还为精度的移动定位提供了高精度的基台。载物台移动基座配置了精密的微分头,可进行分辨率的移动定位操作。同时,由于配置了高精度的空气轴承底座,X-Y的初步定位可快速顺滑地进行,操作效率不会受制于精密的微分头。


由于拥有超高的精度及稳定性,HAPS常被应用于毫米波表征测试、亚微米级探针测试等测试测量应用中。

CryoPS高低温真空探针台系统

2至8英寸的高低温真空探针台,用于材料及前端器件的非破坏性电性分析。


KeyFactor的高低温真空探针台可提供高真空及高低温测度环境。可选温度范围为4k至675k,用户可根据实际的测试选择。我们也为用户提供定制化的测试测量方案,满足用户特殊的测试要求。


CryoPS常用被应用于如下测试中:不同温度下的I-V/C-V测试,微波测试,光电测试,变磁环境下magneto-transport表征测试,理解载流电子浓度的霍尔测试以及其它材料测试等等。

我们可为用户研发设计专用的探针台系统,包括PCB、LCD、TFT等板级测试方案,亚微米激光切割方案等等。请联系并告知我们您的要求,我们将有专业的工程人员与您对接,为您提供专业的服务。


专用、定制化的探针台系统

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