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探针台探针如何进行清洁-延长探针耗材使用寿命

探针台探针如何进行清洁-延长探针耗材使用寿命

利用探针台进行半导体表征参数的测量,离不开测试探针的使用。键德公司(KeyFactor)提供四种类型的探针:普通DC探针、同轴DC探针、有源探针和微波探针。在使用的过程中,探针表面有可能会沾上灰尘或者样品上的氧化层,继续使用可能会影响测试数据的可靠性。但报废的话,特别是微波探针,将大大增加用户耗材成本。在此,我们教大家三个方法,可轻松去除探针上的“顽渍”,延长探针耗材的使用寿命。

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1、毛刷清洁法

适用范围:5微米以上探针,微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。

拿一张A4白纸,撕成细长条的形状,最好是撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下(体视显微镜即可,放大倍数太高无法操作),利用撕下的纸片尖端作为毛刷,轻轻地将探针尖端的沾污物刷下。

2、压针清洁法

适用范围:键德公司(KeyFactor)的所有探针,灰尘比较靠近探针尖端的情况。

拿一张A4白纸,裁成样品台大小(或适当的尺寸),固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下,慢慢下压探针,待探针接触到白纸后,向后移动探针,如下图所示方向。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。

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3、超声清洁法

适用范围:所有探针。

取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜),并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机,然后手捏住探针(注意戴丁腈手套),将针尖放入蒸馏水内,让震动把灰尘震落,可以隔一两分钟用显微镜观察一次,直到灰尘掉落为止。将探针放到适当的位置晾干后即可使用。请注意,若清洁微波探针,须将探针放置整晚晾干。

 

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