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探针台的使用方法-如何正确使用

探针台的使用方法-如何正确使用

正确地使用探针台,可有效地提高操效率,减少误操作造成样品和探针耗材的损伤、损耗。本文以KeyFactor的IPS探针台的使用方法为例,为您讲解如何使用手动探针台。主要包含了两部分的教学内容:如何使用显微镜观察和如何使用定位器将探针扎到待测点上。

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1、如何正确地使用显微镜、用显微镜观察待测样品。

(1)打开显微镜光源,调节光源亮度。将待测样品(或待观察位置)移至显微镜光斑下。

(2)确认显微镜调焦架处于行程中间位置,即调焦架的导轨对齐(如下图)。若有偏差,可以通过旋转调焦架粗调旋钮对齐。

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(3)旋转显微镜转塔,将物镜切换至最小放大倍数。若有必要,可使用气动开关将显微镜抬升后再切换。

[注意]  须双手托住转塔侧边圈旋转(下图箭头所示),严禁直接握住物镜旋转。

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(4)旋转调焦架粗调旋钮,调节显微镜物镜与样品间的距离(向上或向下)。显微镜与样品的对焦过程中,通过目镜(配置了摄像头可通过显示器)可观察到样品成像由模糊逐渐转为清晰。

[注意]  操作粗调旋钮时应注意观察样品与物镜之间的距离,防止样品与待测样品相撞损坏物镜。所有物镜为95mmMPlanAPO长工作距离物镜,

若物镜与样品间的距离小于10mm,应停止并往反方向调节距离。

(5) 转动显微镜转塔,切换至换至目标放大倍数,调节调焦架高度,至样品成像清晰即完成操作。

(6)高倍下操作,可使用调焦架细调旋钮辅助调节显微镜高度,将样品与显微镜对焦。

[注意]  若调焦架处在极限行程位置,严禁使用细调旋钮,否则可能对调焦架造成严重损坏。此时应当使用粗调旋钮并往反方向操作。


2、如何将探针连接至待测点

(1) 显微镜最小倍数物镜下找到待测点(或附近的位置),使待测点成像清晰。

(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置(即各轴导轨端面螺丝对齐)。Z轴也可略向上错开3mm左右。

(3) 安装并调节好探针的高度,侧向平视,观察探针与样品台(或样品)间的距离(大概5mm,或略小于5mm)。

   可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。)

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(4) 移动定位器,将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影(探针成像未实体化)。

(5) 操作定位器XYZ旋钮,将探针定位至待测点上方。此时,可调节Z轴尽量将探针靠近待测点,但不要将探针扎到待测点上(探针未实体化)。

(6) 向上拨动显微镜气动升降开关,将显微镜抬升至最高后,切换至目标放大倍数。向下拨动开关,将显微镜复原至原来位置。

[注意]  显微镜缓慢下降的过程中,若观察到物镜与周围的配件干涉,应当立即向上拔动开关,使显微镜抬升。排除干涉后再把显微镜复位。

(7) 操作XYZ定位旋钮,将探针准确定位至待测点上方。慢慢调节Z轴,缓降下探针。探针两侧虚影与针尖重叠时,探针即接触样品待测点。为确保良好的接触,可略微过压探针,观察到探针略向前移动即停止。

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