射频探针台

　　一、准备工作

　　检查设备：

　　确保射频探针台及其附件(如探针、电缆等)完好无损。检查压缩空气、真空、电源等是否已打开并处于正常工作状态。

　　佩戴防护用品：

　　佩戴防静电手环，防止静电对设备或芯片造成损害。根据需要佩戴手套，以保护手部免受探针或化学物质的伤害。

　　二、开机与初始化

　　开机：

　　按下射频探针台的电源键，待主机启动完毕后预热1~2分钟。按下reset按钮，重置设备至初始状态。

　　软件初始化：

　　打开与射频探针台配套的软件，进入操作界面。根据测试需求，选择一种模式进行初始化。

　　三、放置样品与调节

　　放置样品：

　　打开探针台屏蔽室的舱门。将晶圆(wafer)放置在chuck(卡盘)上。关闭舱门，点击真空开关或“start”按钮，自动选择吸附晶圆的尺寸。

　　调节显微镜与探针：

　　使用显微镜的低倍物镜聚焦，看清楚晶圆上的样品。使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，将样品待测试点移动至显微镜下。切换显微镜为高倍率物镜，找到待测点并微调显微镜聚焦和样品X-Y轴，使影像清晰。调节探针座的位置，将探针装上并移至接近待测点的位置。

　　四、设置扎针高度与校准

　　设置扎针高度：

　　在操纵面板上长按ENABLE Z-AXIS按钮，然后按Z-up按钮将chuck升到一定高度。调节camera的Z轴和显微镜倍率，使图像清晰。点击“set contact”设置扎针最高点，然后点击“separation”分离探针。

　　校准：

　　如果经常使用同一种厚度的晶圆，可以设置“Goto”参数值，以便快速到达设定的Z轴值。使用“align wafer”功能对晶圆进行角度调节，可以选择手动对齐、自动对齐或快速对齐模式。如果选择自动对齐，需要先进行camera calibration，选择一个明暗对比强烈且图案组成多元的区域作为校准参考图。

　　五、测试与数据记录

　　扎针测试：

　　点击“contact”按钮，调节探针的位置进行扎针。先使用肉眼粗略调节探针位置，再使用显微镜精细调节。确保探针针尖与被测点良好接触后，开始测试。

　　数据记录与分析：

　　通过连接的测试设备记录测试数据。使用软件对数据进行分析和处理，得出测试结果。

　　六、测试结束与设备维护

　　卸载晶圆：

　　测试结束后，将晶圆从chuck上卸载并取出。

　　关闭软件与设备：

　　关闭与射频探针台配套的软件。断开设备的电源和其他连接。

　　设备维护：

　　定期检查探针的磨损情况，保持探针头的清洁和完好。对设备的其他关键部件如导轨、马达等进行清洁和润滑。及时安装最新的固件和升级包，修复已知问题并提高系统性能。

　　请注意，不同型号和品牌的射频探针台可能在操作细节上存在差异，因此在实际操作中应参考具体设备的用户手册或操作指南。同时，操作者应具备相应的专业知识和技能，以确保设备的正确使用和维护。