探针台的使用方法-如何正确使用

正确地使用探针台，可有效地提高操效率，减少误操作造成样品和探针耗材的损伤、损耗。本文以KeyFactor的IPS探针台的使用方法为例，为您讲解如何使用手动探针台。主要包含了两部分的教学内容：如何使用显微镜观察和如何使用定位器将探针扎到待测点上。

1、如何正确地使用显微镜、用显微镜观察待测样品。

（1）打开显微镜光源，调节光源亮度。将待测样品（或待观察位置）移至显微镜光斑下。

（2）确认显微镜调焦架处于行程中间位置，即调焦架的导轨对齐（如下图）。若有偏差，可以通过旋转调焦架粗调旋钮对齐。

（3）旋转显微镜转塔，将物镜切换至最小放大倍数。若有必要，可使用气动开关将显微镜抬升后再切换。

[注意]  须双手托住转塔侧边圈旋转（下图箭头所示），严禁直接握住物镜旋转。

（4）旋转调焦架粗调旋钮，调节显微镜物镜与样品间的距离（向上或向下）。显微镜与样品的对焦过程中，通过目镜（配置了摄像头可通过显示器）可观察到样品成像由模糊逐渐转为清晰。

[注意]  操作粗调旋钮时应注意观察样品与物镜之间的距离，防止样品与待测样品相撞损坏物镜。所有物镜为95mmMPlanAPO长工作距离物镜，

若物镜与样品间的距离小于10mm，应停止并往反方向调节距离。

（5） 转动显微镜转塔，切换至换至目标放大倍数，调节调焦架高度，至样品成像清晰即完成操作。

（6）高倍下操作，可使用调焦架细调旋钮辅助调节显微镜高度，将样品与显微镜对焦。

[注意]  若调焦架处在极限行程位置，严禁使用细调旋钮，否则可能对调焦架造成严重损坏。此时应当使用粗调旋钮并往反方向操作。

2、如何将探针连接至待测点

(1) 显微镜最小倍数物镜下找到待测点（或附近的位置），使待测点成像清晰。

(2) 确认定位器XYZ三轴均中间行程位置（即各轴导轨端面螺丝对齐）。Z轴也可略向上错开3mm左右。

(3) 安装并调节好探针的高度，侧向平视，观察探针与样品台（或样品）间的距离（大概5mm，或略小于5mm）。

   可通过调节探针臂或探针臂适配器的高度进行粗调定位。）

(4) 移动定位器，将所有探针移动至显微镜光斑下。此时通过目镜观察可看到探针的虚影（探针成像未实体化）。

(5) 操作定位器XYZ旋钮，将探针定位至待测点上方。此时，可调节Z轴尽量将探针靠近待测点，但不要将探针扎到待测点上（探针未实体化）。

(6) 向上拨动显微镜气动升降开关，将显微镜抬升至最高后，切换至目标放大倍数。向下拨动开关，将显微镜复原至原来位置。

[注意]  显微镜缓慢下降的过程中，若观察到物镜与周围的配件干涉，应当立即向上拔动开关，使显微镜抬升。排除干涉后再把显微镜复位。

(7) 操作XYZ定位旋钮，将探针准确定位至待测点上方。慢慢调节Z轴，缓降下探针。探针两侧虚影与针尖重叠时，探针即接触样品待测点。为确保良好的接触，可略微过压探针，观察到探针略向前移动即停止。

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