真空探针台是一种用于数学领域的分析仪器，主要进行MEMS 器件晶圆级的射频测试、特种气体环境测试、压力测试、光电性能测试、温度测试、震动测试、声音测试及电参数测试，这些测试类型都基于探针台的真空环境。当真空探针台腔体内部抽成真空后，对晶圆上的芯片加上压力、声、振动、液体、温度等影响因素，在这些因素环境中进行电性能测试，对测试芯片的优劣进行判断。那么真空探针台的测试特点都有哪些呢？下面键德测试测量小编就来为大家介绍下。

　　真空探针台的测试特点：

　　(1)节约人员成本。利用工控机编程，可以灵活地根据测试需求自动完成测试工作，同时将测试人员从繁杂的工作量中解放出来。

　　(2)提升测试速度。在软件程序的控制下，自动探针测试可以独自完成所有的测试流程工作，节省了测试人员的测试操作和反应的时间，使工作效率得到很大提升。

　　(3)提高测试精度。由于软件程序的精确控制，使得在探针测试的过程中，不会出现由于人为判断不准、操作失误等问题，能够将测试的误差降到最低，使测试结果的精度很大提高。

　　(4)长时间、高强度及特种环境测试。根据器 件测试方式与参数的不同，有时测试工作需要长 时间持续地进行，手动测试无法满足高强度的测试工作，或者测试工作需 要在危险或测试人员难于进入的特种环境进行测试，自动探针测试技术几乎不受时间、地点、环境等因素的限制，可以正常完成测量并取得准确的测量结果。

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