真空探针台

　　一、准备工作

　　检查设备：确保真空探针台的电源和气源连接正常，设备表面干净整洁无灰尘。同时，检查探针、电缆等配件是否完好无损。

　　佩戴防护用品：为了保护操作人员的安全，需要佩戴相应的手套、防静电手环等防护用品。

　　二、样品放置与定位

　　样品载入：将待测样品载入真空卡盘，确保样品安全牢固地吸附在卡盘上。对于某些型号的真空探针台，可能需要通过真空阀控制开关来实现样品的吸附。

　　样品定位：使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，将样品待测试点移至显微镜下。此时，可以先使用低倍物镜确定样品的大致位置，然后切换为高倍物镜进行精确定位。

　　三、探针调整与测试

　　探针安装：根据测试需求，选择合适的探针并安装在探针座上。确保探针安装牢固，避免在测试过程中脱落或损坏。

　　探针移动：使用探针座X、Y、Z三个微调旋钮慢慢地将探针移动到被测点。在移动过程中要小心谨慎，防止探针误伤样品。当探针尖端悬挂在被测点上方时，可以先用Y轴旋钮稍微后退一点，然后用Z轴旋钮下针。

　　接触测试：确保针尖与被测点接触良好后，可以通过连接测试设备开始测试。测试过程中要密切关注设备的运行状态和测试结果，确保测试数据的准确性和可靠性。

　　四、测试结束与清理

　　测试结束：完成测试后，将探针台拉杆抬起(如果设备具有此功能)，将探针回到初始化位置，防止错误操作。同时，将chuck降下(如果设备具有此功能)，以便取出样品。

　　设备清理：关闭真空泵和光源等设备的开关，断开电源和气源连接。对设备进行必要的清理和保养工作，以确保设备的长期稳定运行。

　　以上就是真空探针台的使用方法了，不过需要注意的是，上述仅为真空探针台的一般使用方法，具体操作步骤可能因设备和测试需求的不同而有所差异。因此，在使用前请务必仔细阅读真空探针台的操作手册并遵循相关操作规范。