国产探针台

　　一、明确测试需求

　　1、晶圆或器件尺寸：确定需要测试的晶圆或器件的最大尺寸，以及是否需要测试破片或单颗芯片，同时明确最小的单颗芯片尺寸。

　　2、测试精度要求：了解所需的探针台机械精度，包括X/Y轴的移动行程、移动分辨率、精度和重复性。这些参数将直接影响测试的准确性和可靠性。

　　3、电极尺寸和类型：明确点测样品的电极尺寸，例如是100μm×100μm或60μm×60μm的pad，还是FIB制作的mini pad，或者ic内部的metal线路。

　　4、探针数量：确定是否需要多个探针同时点测，以及是否会用到探针卡测试。

　　二、考虑显微镜和光学需求

　　1、显微镜分辨率：选择具有适当分辨率的光学显微镜，以满足对测试样品的精细观察需求。

　　2、特殊光学需求：如果需要进行LC液晶热点侦测等特殊测试，需要添加偏光片等光学元件。

　　三、考虑电气测试需求

　　1、电流要求：了解探针点测时对电流的要求，例如是否能够达到100fA或以下。

　　2、低电容要求：确定是否需要低电容测试，以及电容要求是否能够达到0.1pF或更低。

　　3、射频需求：如果需要进行射频测试，需要选择具有射频测试功能的探针台。

　　四、考虑测试环境需求

　　1、温度控制：确定测试环境是否需要加热或降温，以及是否需要密闭腔体来保持测试环境的稳定性。

　　2、防震需求：根据测试精度的要求，考虑是否需要防震桌来减少外界振动对测试的影响。

　　五、考虑其他因素

　　1、chuck的漏电要求：了解所需的探针台对chuck的漏电要求，以及是否需要添加低阻抗chuck来提高测试精度。

　　2、品牌和服务：选择具有良好口碑和售后服务的品牌，以确保设备的可靠性和长期稳定运行。同时，考虑品牌是否提供定制化服务，以满足特定的测试需求。

　　综上所述，挑选适合的国产探针台需要综合考虑测试需求、显微镜和光学需求、电气测试需求、测试环境需求以及其他因素。通过仔细评估这些因素，可以选择出最适合自己测试需求的探针台设备。