高温探针台

　　一、准备工作

　　接口连接：确保探针台和待测试设备的接口正确连接。

　　探针头选择：根据测试需求选择合适的探针头。

　　设备校准：校准探针台，确保其能够正确测量电信号或其他相关参数。

　　样品准备：将待测样品放置在探针台的加热组件上，并确保样品与探针台之间的接触良好。

　　二、操作步骤

　　启动与预热：

　　打开探针台电源，并进行预热，一般需要几分钟时间。启动加热系统，根据实验需求将样品加热至指定温度。同时，温度控制系统会实时监测样品温度，并自动调整加热功率以维持样品温度的稳定。

　　样品定位与观察：

　　使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下观察样品。切换显微镜至高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，并微调显微镜聚焦和样品x-y位置，使待测点位于显微镜视场中心。

　　探针调整与接触：

　　待测点位置确认好后，调节探针座的位置。将探针装上后，先将探针移到接近待测点的位置旁边。使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮，小心且缓慢地将探针移至被测点。此时需防止动作过大误伤芯片。

　　当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针。最后使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，以确认是否已接触良好。

　　实验与测量：

　　确保针尖和被测点接触良好后，通过连接的测试设备开始测试。这些测试可以包括电阻测量、电压测量、电流测量等电学性质的测量;也可以包括热导率测量、热膨胀系数测量等热学性质的测量。

　　三、数据处理与分析

　　数据采集：在实验过程中，收集相关的测试数据。

　　数据处理与分析：实验结束后，将收集到的数据进行处理和分析，以得出实验结论。

　　四、注意事项与维护保养

　　安全操作：

　　操作时注意安全，例如电源绝缘、接线正确等。避免突然断电或异常操作，以免对待测设备造成损害。

　　保持清洁：保持探针台干净整洁，避免颗粒灰尘等物质对测量结果的干扰。

　　维护保养：

　　定期进行维护保养，例如清洁、校准、替换易损件等。

　　妥善保存探针头和线缆等易损件，避免损坏或丢失。

　　按照厂家要求进行保养，例如定期更换滤波器、清洁探头等，以确保探针台的长期稳定性和可靠性。

　　通过以上步骤，可以正确、有效地使用高温探针台进行测试实验。同时，注意遵守操作规程和注意事项，以确保测试结果的准确性和可靠性。