射频探针台

　　一、调试前的准备工作

　　1、设备检查与防护

　　确保探针台及附件(如探针、电缆、校准件)完好无损，检查压缩空气、真空系统和电源是否正常。佩戴防静电手环，防止静电对设备或芯片造成损害;必要时佩戴手套，保护探针和样品。

　　2、开机与初始化

　　按下电源键，待主机启动后预热1~2分钟，按下reset按钮重置设备至初始状态。打开配套软件，根据测试需求选择模式进行初始化。

　　二、机械与光学系统调试

　　1、样品放置与显微镜调节

　　打开屏蔽舱门，将晶圆放置在卡盘上，关闭舱门并启动真空吸附。使用显微镜低倍物镜聚焦，移动卡盘X/Y轴使样品待测点进入视野，再切换高倍物镜进行精细调节，确保图像清晰。

　　2、探针位置与姿态调整

　　调节探针座位置，将探针移至接近待测点。通过探针支架的X、Y、Z和ρ(翻滚角)旋钮，调整探针姿态，直至在显微镜中看到探针的清晰影像。在校准件上试扎，观察扎痕深浅是否一致，若不一致需调整ρ直至深浅一致，确保探针垂直于样品表面。

　　三、射频系统校准

　　1、校准件定位与连接

　　将校准片放置在卡盘上，定位开路、短路、负载和直通校准件。确保矢量网络分析仪与探针之间的同轴电缆连接可靠，避免测试过程中电缆移动。

　　2、SOLT校准步骤

　　在矢量网络分析仪中选择“非向导校准”，采用全双端口SOLT(开路、短路、负载、直通)校准方法。依次对开路、短路、负载和直通校准件进行扎针校准。每完成一个标准，软件会提示并变色，表示该标准校准完成。

　　3、校准数据保存与验证

　　校准完成后，保存校准文件(如.cst文件)，便于后续调用。测量校准片上的其他校准件，验证校准结果是否准确，确保系统误差已校正。

　　四、测试执行与数据记录

　　1、被测件定位与扎针

　　移除校准片，放置被测晶圆。通过载物台的X、Y、θ旋钮调节，使被测点位于显微镜视野中心。精细调节探针位置，确保探针针尖与被测点良好接触，扎针力度适中，避免过重损坏探针或样品。

　　2、数据采集与分析

　　启动矢量网络分析仪，读取S参数(如S11、S21等)，通过光标定位关键频率点，获取精确数据。使用配套软件对测试数据进行分析和处理，生成测试报告。

　　六、调试结束与设备维护

　　1、卸载样品与关机

　　测试结束后，卸载晶圆并妥善存放。关闭软件，断开电源和其他连接。

　　2、日常维护

　　定期检查探针磨损情况，保持探针头清洁。对导轨、马达等关键部件进行清洁和润滑。及时安装设备固件和软件升级包，修复已知问题，提高系统性能。

　　综上所述，射频探针台的调试是一项细致且专业的工作，涉及机械、光学和射频多个系统的协同。通过规范的准备、精细的校准和严谨的测试，工程师可以确保设备处于最佳状态，获得高精度的测试数据。同时，定期的维护和故障排查能够延长设备寿命，降低使用成本。