CryoPS高低温真空探针台产品特点介绍


精确控制的测试测量环境 - 高真空腔体,4~675k温度范围。


多种配件可选/升级 - 2~8英寸载物台,定位器数量及精度、温度范围、光学穿墙件。


高性价比 - 液氮/氦致冷系统,设备初始配置成本比闭循环系统低。


结构紧凑 - 小型化结构设计,是空间紧张的研究单位的理想选择。


载物台(待测样品)精准的温度控制


待测器件(DUT)的温度会受到辐射及周边部件热传导的影响,因此,如果没有完善的热锚技术,将无法得到精准可靠的目标温度。由于传感器只是安装在恒温器上,而不是安装在DUT上,DUT的温度实际将比您在控制器上观察到的温度要高出许多。


为了避免由于温度不准而导致的错误测试结果,我们对探针、探针臂、辐射屏蔽层都使用了抛锚技术,最大程度地减少温度误差。


多重温度监测系统


恒温器、探针、探针臂及屏蔽层均有温度监测传感器,为用户提供多个准确的温度信息,让用户快速地把握测试环境的大致情况。


多种样品夹具(载物台)可供选择


普通的样品夹具,通常由OFC制作并与系统共地。我们也提供同轴或三同轴配置的样品夹具,用于超低漏电测试应用中。所有样品夹具表面均有TYPE II规格的镀金层,增强样品的导电性能。

微弱电流测试探针


KeyFactor的FemtoProbe也同样适用于CyroPS高低温真空探针台,为测试系统提供几个fA的漏电精度。


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